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证券日报网讯6月8日,昊华科技在互动平台回答投资者提问时表示,公司所属昊华气体是国内特种气体行业领先企业,公司电子特气产品包括电子级三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、硒化氢、硫化氢、溴化氢、三氟化硼等,主要应用于集成电路制造的清洗、刻蚀、离子注入、化学气相沉积等制程工艺。公司自主研发的三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯等核心特气产品实现国产化替代。公司的电子特气产品不从中东进口,美伊事件对公司电子特气影响很小。
来源:证券日报网 发布时间:2026-06-08 20:29:30
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证券日报网讯6月8日,昊华科技在互动平台回答投资者提问时表示,公司所属昊华气体是国内特种气体行业领先企业,公司电子特气产品包括电子级三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、硒化氢、硫化氢、溴化氢、三氟化硼等,主要应用于集成电路制造的清洗、刻蚀、离子注入、化学气相沉积等制程工艺。公司自主研发的三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯等核心特气产品实现国产化替代。公司的电子特气产品不从中东进口,美伊事件对公司电子特气影响很小。

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